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真空系統(tǒng)工作原理
日期：2025-04-20 22:57
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摘要：
真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門(mén)、境外過(guò)濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。真空系統(tǒng)出廠時(shí)已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過(guò)濾、主要運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示、運(yùn)行保護(hù)及遠(yuǎn)程控制接口等。只需要在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接電源和管道,即可以組成一個(gè)完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過(guò)編程后組成,以觸摸屏為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。
真空系統(tǒng)工作原理；
啟動(dòng)系統(tǒng)，主真空泵組開(kāi)始工作，直到真空罐內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定的上限值，真空泵自動(dòng)停止運(yùn)行，中央真空系統(tǒng)內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動(dòng)截止而得到維持。如因工作需求真空罐內(nèi)真空度下降并低于設(shè)定的下限值時(shí)，備用真空泵組自動(dòng)啟動(dòng)。由此循環(huán)往復(fù)，真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源，滿(mǎn)足生產(chǎn)的要求。
